半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)靶材:
電極、布線薄膜:鋁靶材,銅靶材,金靶材,銀靶材,鈀靶材,鉑靶材,鋁硅合金靶材,鋁硅銅合金靶材等,
儲存器電極薄膜:鉬靶材,鎢靶材,鈦靶材等
粘附薄膜:鎢靶材,鈦靶材等
電容器絕緣膜薄膜:鋯鈦酸鉛靶材等
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