硅片腐蝕設(shè)備 型號:CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB。德國進口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工;該設(shè)備適用于各英寸硅晶圓片的清洗腐蝕,⑴超聲清洗,加熱清洗為單槽定時控制,到時給予結(jié)束提示音。⑵工藝過程:上料→支離子水超聲清洗→去離子水加熱清洗→去離子水沖洗→ 下 料2.結(jié)構(gòu)特點:本設(shè)備為柜體式,操作面帶有透明門窗。⑴槽體材料為德國進口聚丙烯(磁白色PP板),焊口采用SS外包5mm厚德國磁白色PP板,外型美觀實用。⑵設(shè)備超聲,加熱清洗時間由定時器控制。⑶加熱槽裝有溫控表(pompon)和傳感器。⑷每個清洗槽互不影響,超聲、沖洗清洗槽的上給水(沖洗清洗槽配有熱水)、下排水為手動方式。⑸配有可調(diào)節(jié)式的排風(fēng)裝置。⑹配有美國進口氮氣。
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