全自動(dòng)RCA腐蝕機(jī) 型號(hào):CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB。德國(guó)進(jìn)口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工;產(chǎn)品可去除工件表面的油污及其他有機(jī)物、除膠、去金屬離子等。該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕,關(guān)鍵件采用進(jìn)口件,包括氣動(dòng)閥,PFA管道,全氟循環(huán)系統(tǒng),保證工作介質(zhì)(酸、堿)的潔凈度,避免雜質(zhì)析出。 4.工藝過程全自動(dòng),機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制,可存儲(chǔ)多條工藝時(shí)序,方便使用。 5.人機(jī)界面為觸摸屏,方便直觀。 6.除裝片和取片需人工外,其余工藝動(dòng)作均可自動(dòng)完。有需求此方面設(shè)備的朋友,歡迎來電咨詢:
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