LED化學(xué)硅晶顯影設(shè)備 全自動(dòng)顯影機(jī)型號(hào):CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB。德國進(jìn)口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工;1.概述:本設(shè)備可用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片進(jìn)行顯影和定影,該產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn)、一致性強(qiáng),適用于規(guī)模生產(chǎn)。 2.整臺(tái)設(shè)備材料均為進(jìn)口。 3.本設(shè)備為雙排槽構(gòu)成,每排7槽,各設(shè)一套機(jī)械手,兩排可同時(shí)完成相應(yīng)的工序。 4.本設(shè)備除裝片和取片需人工外,其余工藝動(dòng)作均可自動(dòng)完成。 5.每槽裝片能力:50片/批(2花籃,25片/花籃)。 6.工作區(qū)潔凈度:100級(jí)。 7.槽間工藝轉(zhuǎn)換時(shí)間:Tm ax≤3.5S有需求此方面設(shè)備的朋友,歡迎來電咨
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