深圳藍(lán)之宇電子有限公司

SM5420是一個(gè)小外型SO-8封裝的不帶溫度補(bǔ)償壓力傳感器，該傳感器使用SMI公司經(jīng)過(guò)優(yōu)化的硅微結(jié)構(gòu)的SM5108晶圓，并能為如此小的壓力傳感器提供比較高的精確度。這種優(yōu)越性能通過(guò)細(xì)微電阻安裝和微機(jī)械配置以及先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)而得。
這種傳感器是為大批量使用而價(jià)格又成為關(guān)鍵因素的客戶而設(shè)計(jì)，如胎壓計(jì)或者是輪胎氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。SM5420為絕壓類型的壓力傳感器，滿量程范圍為15psi、30psi和100psi,SM5420是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷電路板的制造商而設(shè)計(jì)。
SM5420可以選用帶端口的配置或者帶孔配置，讓進(jìn)氣通過(guò)端口上方或者壓力源的正向定位用于感應(yīng)一般環(huán)境壓力或者與O形的密封圈一起使用。該端口方向已選定以最小化因惡劣環(huán)境中附加的長(zhǎng)期依賴而造成的壓力脈沖直接沖擊壓力晶圓正面的幾率。該器件對(duì)帶有凝膠的作為標(biāo)準(zhǔn)，大量訂購(gòu)該器件并需要最大化穩(wěn)定性的可以不帶凝膠，比如在氣壓站、氣象站的傳感應(yīng)用。
特點(diǎn)
? 15psi、30psi和100psi
? 寬工作溫度范圍（-40至+125℃）
? 適用于自動(dòng)化流水線裝配
? 超低價(jià)格
? 小外型封裝（0.16英寸ⅹ0.16英寸）
? 恒定電流或者恒定電壓供電
? 較大的mV電壓輸出
? 沒(méi)有溫度補(bǔ)償及零點(diǎn)校準(zhǔn) 應(yīng)用
? 汽車輪胎壓力監(jiān)測(cè)
? 引擎控制
? 氣壓傳感
? 海拔高度校正儀
? 氣動(dòng)儀表
? 手持式儀表
? 家電

性能參數(shù)
所有參數(shù)在室溫25℃，5V直流恒壓源供電的條件下測(cè)量而得，除非另外規(guī)定。
最小值 典型值 最大值 單位
激勵(lì)電壓源 DC 0 5.0 10 V
激勵(lì)電流源 DC 0 1.0 1.6 mA
滿量程輸出 PSI （kPa）
15（103） 95 127 160 mv
30（207） 65 100 135 mv
             100（689） 65 100 135 mv
零點(diǎn)輸出 -35 0 35 mV
滿量程溫度系數(shù) -0.24 -0.19 -0.155 %FS/℃
零點(diǎn)溫度系數(shù) -0.07 -0.01 +0.07 %FS/℃
電阻溫度系數(shù) +0.24 +0.275 +0.33 %RB/℃
壓力線性度（非線性誤差） -0.20 -0.07 +0.20 %FS
橋臂阻抗 4 5 6 kΩ
輸入電容 <2 pF
耐壓 3ⅹ Rated FS
爆破壓力 5ⅹ Rated FS
工作溫度 -40 +125 ℃
存儲(chǔ)溫度 -40 +150 ℃

注意：
1、電橋可以被正電壓或者負(fù)電壓激勵(lì)；正輸出適用在正電壓激勵(lì)正壓力加載在晶圓上
2、在5V恒定電壓激勵(lì)下測(cè)量
3、測(cè)量從0到70℃
4、最佳直線擬合