為滿足用戶需要,達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì),盡可能地減少各級的污染,延長設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計上,取達(dá)國家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水,再設(shè)有介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟水器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽)系統(tǒng)等。系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用全自動或PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
半導(dǎo)體清洗超純水設(shè)備制備工藝:
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→復(fù)床→混床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)
    2、預(yù)處理→雙級反滲透系統(tǒng)→中間水箱→增壓泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)
3、預(yù)處理→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→中間水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)
4、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→混床→拋光混床→純水泵→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)
應(yīng)用場合:
1、電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗;
2、電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液;
3、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水;
4、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水;
5、液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液;
6、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制;
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