壓電陶瓷平臺
SFS-120XY(WA) 中空型XY壓電陶瓷平臺
產(chǎn) 品 說 明
SFS-120XY(WA) 中空型XY壓電陶瓷平臺
l它是一種具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平臺。
l它采用壓電陶瓷作為驅(qū)動器,并內(nèi)置小位移傳感器。
l適用控制器為FINE-503。該控制器具有RS232C,GP-IB 和USB 接口。
l可以很容易地通過計(jì)算機(jī),利用我們獨(dú)自開發(fā)的應(yīng)用軟件SGEMCS,SGTERMS,SGSFSX 進(jìn)行控制。
l此平臺是顯微鏡用移動臺,精密測量,表面結(jié)構(gòu)分析,半導(dǎo)體測試裝置,精密掩模及半導(dǎo)體晶圓的調(diào)整;掃描型干涉儀,高分辨率圖像處理及生物系統(tǒng)等的理想選擇。
l不同類型的顯微鏡,有時其安裝方法也有所不同。
l在您垂詢時,請一定告知我們您所用顯微鏡的制造廠商名稱,型號以及物鏡型號。
l我們可以為您定做其它各種顯微鏡的連接用適配器。
壓電陶瓷平臺共有 3 個產(chǎn)品
名稱: SFS-120XY(WA) 中空型XY壓電陶瓷平臺
名稱: SFS 西格瑪精密(壓電陶瓷)平臺
名稱: SFS-H 西格瑪精密(壓電陶瓷)平臺—高速·高剛性型
壓電陶瓷制動器
VSHPSt 150 帶內(nèi)部預(yù)應(yīng)力外殼的低電壓致動器(壓電陶瓷)
產(chǎn) 品 說 明
帶內(nèi)部預(yù)應(yīng)力外殼的低電壓致動器(壓電陶瓷)
VSHPSt 150/14-10/… VS22
預(yù)應(yīng)力=最大張力=400N
最大負(fù)載力:6000N
最大出力:4500N
在 1 mV噪聲的情況下致動器150/14-10/12 VS22的開環(huán)靈敏度:約為0.1nm
類型 最大行程 長度 電容 剛性 共鳴頻率
μm mm nF N/μm kHz
HPSt 150/14-10/12 VS22 16/12 31 2.6 250 30
HPSt 150/14-10/25 VS22 32/25 44 5.2 120 20
HPSt 150/14-10/40 VS22 50/37 58  
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