納米位移平臺(tái) >> CUBE3 3軸納米位移平臺(tái)
產(chǎn)品編號(hào):1098482816產(chǎn)品名稱:CUBE3 3軸納米位移平臺(tái)規(guī) 格:產(chǎn)品備注:產(chǎn)品類別:納米位移平臺(tái) 產(chǎn) 品 說(shuō) 明
CUBE3.100
CUBE3.200
運(yùn)動(dòng)范圍XYZ(μm)
100
200
分辨率XYZ(nm)
0,1
0,2
典型的噪聲基準(zhǔn)XYZ(nm)
0,01
0,02
全方位的重復(fù)性XYZ(nm)
0,2
0,4
線性化(典型的)
0,02%
0,02%
諧振頻率X / Y / Z(赫茲)
200/200/500
200/200/500
剛度 X/Y/Z (N/μm)
0,3/0,3/0,6
0,3/0,3/0,6
最大負(fù)載(kg)-水平使用
0,5
0,5
最大負(fù)載(kg)-垂直使用
0,1
0,1
傳感器
Silicon HR sensor
Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)
63,5 x 63,5 x 52,45
63,5 x 63,5 x 52,45
材料
Al
Al
電纜長(zhǎng)度(m)
2
2
推薦控制器
Standard
Standard
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