上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

產(chǎn)品名稱(chēng)：雙頻激光干涉儀ZLM700ZLM800 
產(chǎn)品型號(hào)：ZLM700 ZLM800 
產(chǎn)品產(chǎn)地：德國(guó) 
制 造 商：德國(guó)JENAer公司（耶拿爾公司） 
  
詳細(xì)介紹:  
在德國(guó)，Jena地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而舉世聞名。位于該地區(qū)的Jenaer（耶拿爾）公司生產(chǎn)的ZLM700/800雙頻激光干涉儀在世界范圍內(nèi)的同類(lèi)產(chǎn)品中，由于具有獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。
ZLM系列雙頻激光干涉儀采用模塊化設(shè)計(jì)和可調(diào)型ASIC元件，用戶可以根據(jù)測(cè)量目的的不同，選擇不同的反射鏡和輔助元件，以完成各種測(cè)量和控制任務(wù)。
ZLM700雙頻激光干涉儀主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，ZLM800干涉儀可從單軸拓展為多軸，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。它能夠完全計(jì)算出機(jī)械設(shè)備的運(yùn)行軌跡，并通過(guò)WINDOWS?軟件按用戶設(shè)定的方法對(duì)其進(jìn)行分析。
配用高性能蔡司光學(xué)鏡頭組件，ZLM70/800雙頻激光干涉儀可以完成以下各種測(cè)量工作：

 位置測(cè)量、機(jī)械定位 
距離測(cè)量 
速度測(cè)量 
加速度測(cè)量 
角度測(cè)量（俯仰角、偏擺角、滾動(dòng)角） 
振動(dòng)度測(cè)量（同心度測(cè)量） 
直線度測(cè)量 
矩形測(cè)量（垂直度測(cè)量、平行度測(cè)量） 
平面度測(cè)量 
對(duì)工具和儀器進(jìn)行校正 
 

工作原理

專(zhuān)利型ZLM700/800激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為0.002ppm，640MHz的頻差經(jīng)四倍后用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜，把來(lái)自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700/800雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。
除了計(jì)算機(jī)卡槽接口外，還可以使用其他獨(dú)立的電子裝置進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，包括各種接口，用于數(shù)據(jù)輸出和連接成為一個(gè)控制環(huán)路。ZLM800型干涉儀可以拓展為六軸測(cè)量。

主要特點(diǎn)  被測(cè)物體最大速度16m/s； 
無(wú)干擾誤差時(shí)的分辨率2.5nm（使用平面干涉鏡時(shí)的誤差為1.25nm）； 
無(wú)加速度限制； 
當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定； 
信號(hào)延時(shí)<200ns； 
激光器壽命內(nèi)，頻率信號(hào)穩(wěn)定； 
對(duì)電磁干擾不敏感； 
使用超級(jí)蔡司光學(xué)元件。 
    

產(chǎn)品的可靠性 

世界范圍內(nèi)，ISO9000/9004已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各種質(zhì)量保證體系。這就要求認(rèn)證的企業(yè)必須按照相關(guān)要求對(duì)生產(chǎn)工藝和控制過(guò)程進(jìn)行嚴(yán)格的管理。Jenaer公司就是采用這樣質(zhì)量管理體系的公司。
測(cè)量結(jié)果的可靠與否取決于測(cè)量的工具、測(cè)量方法和操作者。測(cè)量系統(tǒng)的校正誤差會(huì)極大影響測(cè)量的結(jié)果的準(zhǔn)確性。


本公司的雙頻激光干涉儀可以通過(guò)軟件來(lái)減小測(cè)量系統(tǒng)的校正誤差。把兩個(gè)四象限傳感器置于激光器內(nèi)，一個(gè)用于測(cè)量光束，另一個(gè)用作參考光束，從而保證了以最優(yōu)的方式來(lái)校正干涉系統(tǒng)與被測(cè)物體。由于使用大屏幕顯示，系統(tǒng)校正會(huì)非常靈敏，從而方便校正。
使用軟件校正的優(yōu)點(diǎn)

 通過(guò)屏幕顯示來(lái)校正系統(tǒng)的精度，能夠節(jié)約設(shè)定時(shí)間； 
激光器的校正是一個(gè)精細(xì)的過(guò)程，即使對(duì)最復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)也能勝任； 
能過(guò)保證校正結(jié)果的最高性能。 


測(cè)量方法智能化 

ZLM700/800的信號(hào)處理電路采用可調(diào)的ASIC元件。ZLM系列雙頻激光干涉儀針對(duì)不同的測(cè)量目的，采用不同的控制信號(hào)，以完成各種測(cè)量工作。
ZLM700/800雙頻激光干涉儀可以連接外部計(jì)數(shù)系統(tǒng)，它使得被測(cè)設(shè)備和激光干涉儀之間的比較變得更為方便，節(jié)約過(guò)程時(shí)間。這一過(guò)程使用實(shí)時(shí)耦合信號(hào)，使得數(shù)據(jù)分析能夠滿足德國(guó)和世界標(biāo)準(zhǔn)。
數(shù)據(jù)分析處理的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617 
NMTBA 


使用環(huán)境補(bǔ)償使精度更高 

      即使是標(biāo)準(zhǔn)配置，ZLM700/800雙頻激光干涉儀的分辨率也能夠達(dá)到5nm，測(cè)量精度優(yōu)于1 ?μm/m。這就需要使用AUK500自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償器（俗語(yǔ)：氣象站）來(lái)提供環(huán)境溫度的一些參數(shù)，通過(guò)參數(shù)補(bǔ)償，使其環(huán)境指標(biāo)達(dá)到實(shí)驗(yàn)室測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)。

      ZLM700/800雙頻激光干涉儀使得測(cè)長(zhǎng)機(jī)和比較器的校正變得更為簡(jiǎn)單。    空氣環(huán)境對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響可以通過(guò)使用AUK500環(huán)境自動(dòng)補(bǔ)償器來(lái)修正，也可以手工輸入來(lái)修正。最多可連接五個(gè)材料溫度傳感器對(duì)所測(cè)物體的溫度進(jìn)行補(bǔ)償。