山東中煤工礦物資有限公司

束管真空抽氣設(shè)備干式真空泵
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干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面： 
  1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 
  2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒； 
  3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求； 
   4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 
   5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
二、分類：
干式真空泵主要有下列幾種形式：
干式螺桿真空泵
無油往復真空泵
爪式真空泵
無油渦旋真空泵
專業(yè)生產(chǎn)研發(fā)工礦物資集團公司，并與相關(guān)科研機構(gòu)聯(lián)合開發(fā)生產(chǎn)出了多種自動化程度高、靈敏度強、操作簡便靈活的礦用安全設(shè)備?，F(xiàn)擁有束管監(jiān)測系統(tǒng)生產(chǎn)線、礦用阻化泵車間、煤礦專用束管廠、色譜儀研發(fā)中心等部門。愿我們以真誠服務(wù)，期待與您的合作。
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