杜邦 VPF 1506/1506XP
化學(xué)性能非常穩(wěn)定,耐強(qiáng)酸,包括極強(qiáng)的路易氏酸,耐強(qiáng)堿。與接觸的任何特種氣體如氟氣,強(qiáng)腐蝕性物質(zhì),強(qiáng)氧化劑,還原劑均不發(fā)生反應(yīng)
應(yīng)用:
1.用于半導(dǎo)體工業(yè)真空泵油,得到世界著名真空泵制造商,如萊寶Leybold、愛德華Edwards、荏原Ebara等的認(rèn)可。
2.尤其半導(dǎo)體芯片加工過程中的蝕刻和沉淀過程特種氣體處理。
3.其他特種氣體行業(yè)真空系統(tǒng)泵浦中
1KG/罐
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