江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司-廣州MOCVD批發(fā)廠家1234a3211
是國內(nèi)前列的MOCVD等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件和耗材供應(yīng)商。由唐山實(shí)為半導(dǎo)體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊(cè)資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設(shè)有辦事處。我國的半導(dǎo)體制造業(yè)在近年有了長足發(fā)展,但所使用的設(shè)備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進(jìn)口。1234a3211
VeecoSomitJoshi在“用于提高功率器件性能的硅基氮化鎵MOCVD進(jìn)展”的演講中表示,新興的中/高電壓應(yīng)用在電力供應(yīng),替代能源以及數(shù)據(jù)中心,都需要更高的功率效率,滿足較高的工作溫度以及更小的系統(tǒng)規(guī)模。氮化硅在這些參數(shù)上遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于硅。1234a3211
由于工藝的嚴(yán)苛要求,這些設(shè)備在使用過程中有些關(guān)鍵部件只有一定壽命,需要定期更換。同時(shí)這些部件的技術(shù)升級(jí)對(duì)于提升設(shè)備整體的性能非常有效。目前這些備件主要是從國外大量進(jìn)口,價(jià)格昂貴并且技術(shù)升級(jí)緩慢,國產(chǎn)化替代的需求十分強(qiáng)烈,市場(chǎng)前景非常廣闊。結(jié)合我司技術(shù)團(tuán)隊(duì)多年在國外從事半導(dǎo)體研發(fā)的經(jīng)驗(yàn),通過刻苦攻關(guān),我司填補(bǔ)了國內(nèi)商用大功率MOCVD加熱器的空白,受到客戶的高度肯定。-廣州MOCVD批發(fā)廠家1234a3211反應(yīng)氣體經(jīng)反應(yīng)室后大部分熱分解,但還有部分尚未完全分解,因此尾氣不能直接排放到大氣中,必須先進(jìn)行處理,處理方法主要有高溫?zé)峤鉅t再一次熱分解,再用硅油處理也可以把尾氣直接通入裝有H2SO4+H2O及裝有NaOH溶液的吸濾瓶處理也有的把尾氣通入固體吸附劑中吸附處理,以及用水淋洗尾氣等。1234a3211
反應(yīng)室是由石英管和石墨基座組成。為了生長組分均勻、超薄層、異質(zhì)結(jié)構(gòu)的化合物半導(dǎo)體材料,各生產(chǎn)廠家和研究者在反應(yīng)室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)上下了很大功夫,設(shè)計(jì)出了不同結(jié)構(gòu)的反應(yīng)室。1234a3211
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