江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司

江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司-上海MOCVD配套設(shè)備配件1234a3211 是國(guó)內(nèi)前列的MOCVD等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件和耗材供應(yīng)商。由唐山實(shí)為半導(dǎo)體和海外專家陳景升共同投資組建，公司注冊(cè)資金2000萬(wàn)，總部在邳州，并在蘇州設(shè)有辦事處。我國(guó)的半導(dǎo)體制造業(yè)在近年有了長(zhǎng)足發(fā)展，但所使用的設(shè)備還主要來(lái)自國(guó)外，如MOCVD主要從美國(guó)和德國(guó)進(jìn)口。1234a3211 VeecoSomitJoshi在“用于提高功率器件性能的硅基氮化鎵MOCVD進(jìn)展”的演講中表示，新興的中/高電壓應(yīng)用在電力供應(yīng)，替代能源以及數(shù)據(jù)中心，都需要更高的功率效率，滿足較高的工作溫度以及更小的系統(tǒng)規(guī)模。氮化硅在這些參數(shù)上遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于硅。1234a3211 由于工藝的嚴(yán)苛要求，這些設(shè)備在使用過(guò)程中有些關(guān)鍵部件只有一定壽命，需要定期更換。同時(shí)這些部件的技術(shù)升級(jí)對(duì)于提升設(shè)備整體的性能非常有效。目前這些備件主要是從國(guó)外大量進(jìn)口，價(jià)格昂貴并且技術(shù)升級(jí)緩慢，國(guó)產(chǎn)化替代的需求十分強(qiáng)烈，市場(chǎng)前景非常廣闊。結(jié)合我司技術(shù)團(tuán)隊(duì)多年在國(guó)外從事半導(dǎo)體研發(fā)的經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)刻苦攻關(guān)，我司填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)商用大功率MOCVD加熱器的空白，受到客戶的高度肯定。-上海MOCVD配套設(shè)備配件1234a3211為了安全，一般的MOCVD系統(tǒng)還備有高純從旁路系統(tǒng)，在斷電或其它原因引起的不能正常工作時(shí)，通入純N2保護(hù)生長(zhǎng)的片子或系統(tǒng)內(nèi)的清潔。在停止生長(zhǎng)期間也有常通高純N2保護(hù)系統(tǒng)。1234a3211 反應(yīng)氣體經(jīng)反應(yīng)室后大部分熱分解，但還有部分尚未完全分解，因此尾氣不能直接排放到大氣中，必須先進(jìn)行處理，處理方法主要有高溫?zé)峤鉅t再一次熱分解，再用硅油處理也可以把尾氣直接通入裝有H2SO4+H2O及裝有NaOH溶液的吸濾瓶處理也有的把尾氣通入固體吸附劑中吸附處理，以及用水淋洗尾氣等。1234a3211 通常MOCVD系統(tǒng)中的晶體生長(zhǎng)都是在常壓或低壓(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不銹鋼)反應(yīng)室中進(jìn)行，襯底溫度為500-1200℃，用射頻感應(yīng)加熱石墨基座(襯底基片在石墨基座上方)，H2通過(guò)溫度可控的液體源鼓泡攜帶金屬有機(jī)物到生長(zhǎng)區(qū)。1234a3211 【云端系統(tǒng)代發(fā)】-上海MOCVD配套設(shè)備配件