江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司-東莞MOCVD配套設(shè)備廠家1234a3211
是國內(nèi)前列的MOCVD等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件和耗材供應(yīng)商。由唐山實(shí)為半導(dǎo)體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設(shè)有辦事處。我國的半導(dǎo)體制造業(yè)在近年有了長足發(fā)展,但所使用的設(shè)備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進(jìn)口。1234a3211
VeecoSomitJoshi在“用于提高功率器件性能的硅基氮化鎵MOCVD進(jìn)展”的演講中表示,新興的中/高電壓應(yīng)用在電力供應(yīng),替代能源以及數(shù)據(jù)中心,都需要更高的功率效率,滿足較高的工作溫度以及更小的系統(tǒng)規(guī)模。氮化硅在這些參數(shù)上遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于硅。1234a3211
由于工藝的嚴(yán)苛要求,這些設(shè)備在使用過程中有些關(guān)鍵部件只有一定壽命,需要定期更換。同時(shí)這些部件的技術(shù)升級對于提升設(shè)備整體的性能非常有效。目前這些備件主要是從國外大量進(jìn)口,價(jià)格昂貴并且技術(shù)升級緩慢,國產(chǎn)化替代的需求十分強(qiáng)烈,市場前景非常廣闊。結(jié)合我司技術(shù)團(tuán)隊(duì)多年在國外從事半導(dǎo)體研發(fā)的經(jīng)驗(yàn),通過刻苦攻關(guān),我司填補(bǔ)了國內(nèi)商用大功率MOCVD加熱器的空白,受到客戶的高度肯定。-東莞MOCVD配套設(shè)備廠家1234a3211因?yàn)镸OCVD生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì),并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料。因此在MOCVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思想上,通常要考慮系統(tǒng)密封性,流量、溫度控制要好,組分變換要迅速,系統(tǒng)要緊湊等。不同廠家和研究者所產(chǎn)生或組裝的MOCVD設(shè)備是不同的。1234a3211
2、反應(yīng)室中氣體流速較快。因此,在需要改變多元化合物的組分和摻雜濃度時(shí),可以迅速進(jìn)行改變,減小記憶效應(yīng)發(fā)生的可能性。這有利于獲得陡峭的界面,適于進(jìn)行異質(zhì)結(jié)構(gòu)和超晶格、量子阱材料的生長。1234a3211
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