五、PVD涂層與其他表面處理的比較1、CVD簡介(ChemicalVaporDeposition——化學(xué)氣相沉積)(1)將各種化學(xué)反應(yīng)物質(zhì):如四氯化鈦(TiCl4)和甲烷(CH4)等含碳?xì)怏w(或其它碳氮?dú)怏w)蒸氣等通入反應(yīng)爐體內(nèi),在高溫(900~1200℃)狀態(tài)下,TiCl4中的鈦(Ti)和碳?xì)浠衔镏械奶迹–)在模具表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),從而生成一層金屬化合物涂層碳化鈦(TiC)。利用不同的反應(yīng)物,可得到不同的薄膜,如TiN、Ti(CN)、CrC等等。(2)CVD的優(yōu)點(diǎn):      ①鍍膜與基材的附著性優(yōu)良;      ②復(fù)雜的形狀都可以處理:如深孔、內(nèi)管、細(xì)縫等。(3)CVD的優(yōu)點(diǎn):      ①鍍膜溫度太高,對基材和反應(yīng)設(shè)備的耐熱性要求很高,很多工件難以承受;      ②高溫使基材尺寸變化和變形嚴(yán)重,故適于精密度高的工件;      ③對于要求工件局部鍍膜,難以實(shí)現(xiàn);      ④活潑性氣體源的使用,制程中有爆炸、毒性氣體泄漏等隱患,且對環(huán)境有污染。2、TD簡介(ThermalDiffusionCoatingProcess——熱擴(kuò)散法碳化物覆層處理)(1)在空氣爐或鹽槽中放入一個耐熱的坩堝,將硼砂放入坩堝加熱熔化至800~1200℃,然后加入相應(yīng)的碳化物形成粉末(如鈦、鋇、鈮、鉻),再將鋼或硬質(zhì)合金工件放入坩堝中浸漬保溫1~2小時,加入元素將擴(kuò)散至工件表面并與鋼中的碳發(fā)生反應(yīng)形成碳化物層(如:VC—碳化釩;CrC—碳化鉻),所得到的碳化物層具有很高的硬度和耐磨性。(2)TD最主要適合于以下鉻鋼的工件。國際標(biāo)準(zhǔn)中國
美國
瑞典
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Cr12MoV
SKD11、SLDD2
XW—41160CrMoV12Cr12Mo1V1
SKD11
D2
XW—42
100CrMoV5Cr5Mo1V
SKD12
A2
XW—10210Cr12Cr12
SKD1
D3
XW—5——DC53——(3)TD的優(yōu)點(diǎn):
      ①覆層與基材的附著性優(yōu)良;      ②覆層的厚度較厚。(4)TD的缺點(diǎn):      ①處理溫度太高,對基材的耐熱性要求很高,很多工件難以承受;      ②高溫使基材尺寸變化和形變嚴(yán)重,故不適于精密度高的工件;      ③對于要求工件局部鍍膜,難以實(shí)現(xiàn);      ④覆層的厚度較厚,精密工件精度會受影響;      ⑤覆層后表面狀況較差,一般須作后處理(如拋光等)才可使用。3、電鍍硬鉻(Cr)簡介(1)用鉻酐、硫酸和添加劑等配制成電鍍液,將工件放入溶液中電鍍金屬鉻沉積在工件表面形成鍍層。(2)實(shí)際上所謂“鍍硬鉻”,其鉻層硬度并不比裝飾鉻層硬度高,只因其鍍層較厚,故能發(fā)揮其硬度高、耐磨的特點(diǎn),故稱鍍硬鉻。(3)鍍硬鉻的優(yōu)點(diǎn):①工件大小不受限制;②鍍層厚度較厚,可以適當(dāng)彌補(bǔ)因加工超差的工件尺寸;③成本較低。(4)鍍硬鉻的缺點(diǎn):①硬度較差,耐磨性較差;②鍍層厚度較厚,不能滿足高精度要求,鋒利的刀具鍍后刃口會變鈍;③環(huán)保問題嚴(yán)重。4、滲氮的簡介(1)氮化:將待處理的工件放在滲氮爐中,爐內(nèi)加溫500~700℃,充入的含氮?dú)怏w在高溫狀態(tài)下分解后產(chǎn)生活性氮原子,被剛才表面吸收滲入其中并且不斷自表面向內(nèi)擴(kuò)散,形成氮化層,表面硬度可達(dá)900~1100HV。(2)氮化的優(yōu)點(diǎn):①工件大小不受限制;②氮元素與工件基材結(jié)果,故結(jié)果牢固;③成本較低。(3)氮化的缺點(diǎn):①硬度較低,耐磨性較差;②應(yīng)用面窄,只能針對鋼材;③表面仍是鋼材的特性,不能改善與金屬粘黏等問題。
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