無塵室 無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。無塵室要求不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力,所以穩(wěn)定性尤為重要。因此,各凈化工程企業(yè),也根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,將無塵室分為若干實際執(zhí)行等級,上表所列為常用的國際標準。此外,如安徽人和環(huán)境科技有限公司(人和凈化)等一些知名凈化工程公司,在上述通行標準之外,還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標,凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠超國際品牌。 概述 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例, 無塵室無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。 如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。 控管項目 1. 能除去空氣中飄游之微 無塵室塵粒子。 ⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 ⒊ 溫度和濕度之控制。 ⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。 ⒌ 有害氣體之排除。 ⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。 ⒎ 靜電之防制。 ⒏ 電磁干擾預(yù)防。 ⒐ 安全因素之考慮。 ⒑ 節(jié)能之考量。 ⒒照度的的調(diào)節(jié) ⒓浮游菌及沉降菌的控制 溫州屹誠凈化科技有限公司 地址:浙江省溫州市甌海區(qū)金蟾大道252號三浹大廈5樓501室 電話:0577-86186296 傳真:0577-86186295 聯(lián)系人:黃先生 13587672372 公司網(wǎng)址:www.wzyicheng.com
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