FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn):
  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
  - 感器的高精度計(jì)量
  - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
  - 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù):
性能參數(shù)
FS4001
單位
通 徑
1.0
1.8
mm
最大流量
30, 100, 200
500, 1000
SLPM
量程比
2132132132131231312100:1
 
精 度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.25
%讀數(shù)
零點(diǎn)輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/oC
響應(yīng)時(shí)間
4, 8, 16, 33 , 65 , 131
mses
工作電源
8~18Vdc,50mA
 
輸出方式
線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
 
最大流量壓損
350
300
pa
最大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
東莞迪川儀器儀表有限公司
發(fā)布與
氧氣流量計(jì),醫(yī)用氧氣流量計(jì),超小流量計(jì),微型流量計(jì)
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