等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基,這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合,在電場作用下,廢氣分子處于激發(fā)態(tài),當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時,廢氣分子的分子鍵斷裂,直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質的第四態(tài),當外加電壓達到氣體的著火電壓時,氣體被擊穿,產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高,但重粒子溫度很低,整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài),所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解,并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到分解污染物的目的。