本儀器所使用的影像測量技術、圖像處理技術、 自動調焦技術、亞象素尋邊技術測量分析軟件極大提高測量精度和測量效率。儀器光學系統(tǒng)品質優(yōu)良,物鏡成像清晰,倍率廣泛。提供物體輪廓(透射)和表面(反射)同軸照明,保證物體影像清晰。導軌、絲杠、光柵尺、電機等關鍵部件全部選用國外著名品牌,保證系統(tǒng)的高質量和高可靠性。
自動識辨物體焦面位置和自動尋找物體亞象素邊界。優(yōu)質運動控制器和圖像傳感器,保證高品質圖像質量和工作臺的低噪音平穩(wěn)運動。 X、Y、Z軸全部電機閉環(huán)控制運動,Z軸裝有粗微調焦手輪調節(jié)以適應測量工件高度要求。多種形位尺寸(幾何元素)測量,點、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關系,圓度、球度、平面度等形狀公差,平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動三維采點測量,按國標GB11337-98的各種方法自動進行平面度誤差檢測。提供測量編程指令,具有自學習編程功能,自動批量快速測量,大大提高檢測效率。
人性化方便的運動控制和多種方式的測量功能,編程和自學習,成倍提高測量效率。系統(tǒng)提供多達20個機械坐標和工件坐標。無需轉臺,實時非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數(shù)。無需傾斜臺,對物體基準面進行數(shù)學找正,避免物理找正的煩瑣。提供強大的數(shù)理統(tǒng)計分析和數(shù)據(jù)庫功能:統(tǒng)計參數(shù)計算,正態(tài)、歷史、直方圖、X2、T、F分布,X2、T、F檢驗,單因素方差分析和相關性檢驗等。輸出結果形式多樣,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應用軟件使用。幾何形狀測量與構造實時圖形的直觀顯示,利于測量檢查。提供在線幫助功能,操作簡便,易學易用。
技術參數(shù)
工作臺行程 標配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm
選配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm
光學尺分辨率 標配:0.001mm閉式; 選配:0.0005mm,0.0001mm開式
重復定位精度 X,Y,Z: ≤0.0015mm
重復調焦精度(倍率大于150X) ≤0.0015mm
系統(tǒng)不確定度 分辨率為0.001mm時:X,Y: (3.0+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm
分辨率為0.0005mm時:X,Y: (1.5+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm
分辨率為0.0001mm時:X,Y: (0.5+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm
備注: L為測量長度,T為工作臺行程。
儀器配置
部件名稱 規(guī)格(標配) 選件 備注
CCD工業(yè)攝像頭 彩色CCD(1/2”) 黑白CCD(1/2”) 復合或標準視頻
工業(yè)顯微鏡 連續(xù)變倍:1:12
1.5X物鏡 (50~500X) 連續(xù)變倍:0.7-4.5X;
工業(yè)內照明高倍率長工作距顯微鏡,物鏡倍率:3X~100X C-Mount接口
計算機系統(tǒng) 商用PC,98/2000/XP 工業(yè)控制機 ,彩色噴墨打印機
測量控制軟件 TDYMS V60CNC
底座 花崗石00級
照明光源 LED燈 外接照明
工作臺行程
(測量范圍) X:150mm,Y:150mm,Z:100mm X:100-400mm,Y:100-200mm
Z:100-200mm Z軸帶有粗微調機構,以滿足不同高度工件的測量 (80mm 范圍)
驅動方式 X、Y、Z:CNC電動 JOG控制盒
驅動電機 三相步進電機 伺服電機