廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗(yàn)和科學(xué)研究。配備有反射照明,偏光裝置,可連接照相。
● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
● 鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜,瞳距55-75mm
● 高眼點(diǎn)、大視場目鏡WF10X/22
● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
● 長工作距離平場復(fù)消色差物鏡
Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm,
Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm,
Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
● 150mmx150mm(6"x6")雙層活動平臺和圓平臺,主要
的特點(diǎn)是用了尼康三角鋼絲和圓柱滾珠,從而在設(shè)計(jì)
和材料上保證其平穩(wěn)和精度要求。
● 同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動格值0.002mm
● 冷光源光纖反射照明器:12V150W,特別明亮清晰,
對黑色、深色表面不反光工件塑料、橡膠、碳化物金
屬等,亦可清晰
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