高純水,是指化學純度極高的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質純度要求相當高,所以一般應用最普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水,要求各雜質含量低達到“微克/升”級。在純水的制作中,水質標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10),但由于微電子技術的復雜性和影響產(chǎn)品質量的因素繁多,至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂,而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展,新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。高純水的國家標準為:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。
4. 而超純水呢,則可以認為是一般工藝很難達到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm(沒有明顯界線),則稱為超純水。關鍵是看你用水的純度及各項征性指標,如電導率或電阻率,PH值,鈉,重金屬,二氧化硅,溶解有機物,微粒子,以及微生物指標等。
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