Awave EUV系列
主要特點:
1. 聲光調(diào)Q
2. 納秒脈沖
3. TEM00模式
Awave EUV系列激光器包括一個激光頭及激光控制器,由一個2.5米的套管連接,能夠滿足客戶高強度7×24小時工作生產(chǎn)要求。光纖耦合二極管泵浦位于激光控制器內(nèi),方便現(xiàn)場更換。激光頭在潔凈室中密封封裝,確保長期有效穩(wěn)定的使用。
Awave EUV系列激光器脈沖頻率1~100kHz,平均功率10mW~100mW,脈沖能量超過0.1mJ。
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