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微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮氣純化設(shè)備封裝線氮氫混合氣體配比器工藝流程及控制方法

1.采用進口質(zhì)量流量控制器控制器氣體的體積流量進行二元或三元氣體的混合配

比，在設(shè)備高精度工作的同時，保證設(shè)備運行的可靠性和配比穩(wěn)定性。（三元氣體    以相應(yīng)標準氣體做同比例標定，實測氣體顯示數(shù)據(jù)做依據(jù)做比對數(shù)據(jù)檢測或聯(lián)機色譜儀在線監(jiān)測微調(diào)質(zhì)量流量計設(shè)備參數(shù)，使其最終混配比例在0.1%以內(nèi)，具體數(shù)據(jù)以色譜儀或氣體分析儀的分辨率為基準）

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮氣純化設(shè)備封裝線氮氫混合氣體配比器控制方式

                  采用知名品牌PLC與觸摸屏控制，實時顯示配比流程、配比比例、工作壓力、報

                  警參數(shù)等信息，使操作變的簡易明了。控制采用PLC與質(zhì)量流量控制器做通訊控 

                  制，保證了配比的精度，同時設(shè)備設(shè)手動操作顯示儀，可手動調(diào)節(jié)配比的比例。

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮氣純化設(shè)備封裝線氮氫混合氣體配比器氫氮混合氣檢漏技術(shù)是一種低成本、高效率、高精度的檢漏方式。氫氮混合氣檢漏原理：
金屬氫化物薄膜僅僅對氫原子具有滲透性。當(dāng)加熱金屬表面時，氫分子分離成原子被薄膜吸附，吸附的氫原子產(chǎn)生了一個小的電壓，經(jīng)放大器放大并被輸送到指示器。5%的氫氣+95%氮氣的混和氣是一種安全的不可燃氣體，這是一種煉鋼用的標準還原保護氣，所以很容易買到混和好的氣體，無需自己混氣。與氦氣檢漏相比，氫氮混合氣檢漏技術(shù)的最大優(yōu)勢是氣體成本低廉，僅為氦氣的1/10-1/20左右！隨著現(xiàn)在氦氣供應(yīng)越來越緊缺，價格越來越高，氫氮混合氣低成本的優(yōu)勢將更為突出。另外，氫檢漏儀本身設(shè)備成本低于氦檢漏儀，且內(nèi)部沒有真空泵、質(zhì)譜室、燈絲等部件，無需每年維護。綜合成本遠低于氦氣檢漏。氫氮混合氣檢可以快速檢出低至5*10-7mbarl/s的漏率，是目前檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢。這種技術(shù)在國外已得到了廣泛的應(yīng)用。在國內(nèi)的空調(diào)行業(yè)，越來越多的廠商開始使用氫氮混和氣檢漏來替代原有的吸槍式氦檢。

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮氣純化設(shè)備封裝線氮氫混合氣體配比器檢漏應(yīng)用：
1.  飛機油箱檢漏；
2.  空中客車燃油系統(tǒng)；
3.  歐洲先進戰(zhàn)斗機燃油系統(tǒng)；
4.  歐洲直升機燃油系統(tǒng)；
5.  F-16戰(zhàn)斗機燃油系繞；
6.  歐洲狂風(fēng)戰(zhàn)斗機油箱系統(tǒng)；
7.  波音飛機供氧系統(tǒng)；
8.  瑞典鷹師戰(zhàn)斗機燃油系統(tǒng)；
9.  法國空軍燃油系統(tǒng)；
10.  美國空軍燃油系統(tǒng)；
11.  美國航天火箭；
12.  歐洲航天火箭。

氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。