真空機(jī)組根據(jù)配置的羅茨真空泵級(jí)數(shù)和不同類型的前級(jí)泵可以獲得不同的極限壓力和抽氣速率,以滿足不同的工藝需求。全套的機(jī)組有羅茨真空泵、前級(jí)真空泵、管路、閥門、儀表、控制系統(tǒng)等組成,廣泛的壓力范圍內(nèi)獲得高真空以及大的抽氣速率。
真空機(jī)組運(yùn)行成本低,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)可靠;統(tǒng)一的整體式設(shè)計(jì),緊湊且易于安裝RVP(ZJ/ZJB)羅茨真空和技術(shù)先進(jìn)的前級(jí)泵,保證其連續(xù)運(yùn)行之可靠性等性能特點(diǎn)。
真空機(jī)組不能單獨(dú)使用,必須和前級(jí)泵組成機(jī)組形式才能使用。根據(jù)不同的工藝要求和不同的前級(jí)泵配置,真空泵機(jī)組可由一臺(tái)或多臺(tái)真空泵和前級(jí)泵組成多級(jí)羅茨真空泵機(jī)組。
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