美國Brooks流量計 5850E / 5860E 智能型熱式橡膠密封質量流量計/質量流量控制器量程 10sccm-100slpm 操作溫度 5°- 65° 最大壓力 1500 psi 精度 精度 ±1 F.S 精度 ±1.5 F.S輸入輸出 0-5VDC
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